电容式微位移传感器（扁平款）

发布时间：2025-05-30浏览次数：1395次

电容式微位移传感器（扁平款）

电容式微位移传感器基于电容电极间均匀电场变化时电容值的变化量来实现纳米级位移的精确测量。该系列产品可实现非接触测量，保证了极高的测量分辨率、线性度以及高测量带宽，满足各种应用场景下纳米级的测量需求，能在恶劣的环境条件下工作。

技术特点：

应用领域：

规格参数：

型号		PS06-100	PS10-200	单位
传感器类型		电容式
直径		4.8	8.9	mm
探测区直径		2.3	5.8	mm
长度		6	6	mm
量程		100	200	um
分辨率	2Hz	0.02	0.04	nm
	25Hz	0.04	0.08	nm
	1kHz	0.11	0.21	nm
	2kHz	0.15	0.30	nm
线性度		0.015	0.015	%
默认带宽		2	2	kHz
重复性		0.21	0.39	nm
工作温度范围		-20~100		℃
材质		Aluminum 6061/Invar 36/Stainless steel 316/Super invar 32-5
真空（可选）		超真空兼容（5X10-9 ）		mbar
适配控制器		微型单通道传感器主机CDM100S 三通道传感器主机CDM300 六通道传感器主机CDM600

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电容式微位移传感器（扁平款）二维图纸+三维模型.zip

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