双轴长行程压电滑台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，具有数厘米级行程和纳米级运动精度。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
超长行程：10mm~数百mm
高分辨率：传感器分辨率为1.22nm
超高精度：最小步长2nm
运动速度：可达5mm/s
高稳定性：保持力可达5N
超高真空兼容性；
运动模式：支持开环与闭环
轻量化、结构紧凑，高可靠性
模块化设计，摩擦单元可替换
应用领域：
扫描电镜（SEM）样品操纵
主动光学
超分辨成像样品移动
大范围电子束直写（EBL）
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
规格参数：
型号 | NH-XY-16A | NH-XY-16B | NH-XY-36A | NH-XY-36B | NH-XY-100A | NH-XY-200A |
运动轴数 | 2 | |||||
传感器类型 | 光栅编码器（玻璃栅尺） | 光栅编码器（钢带栅尺） | ||||
行程(mm) | 16 | 16 | 36 | 36 | 100 | 200 |
保持力（垂直方向)(N） | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 8 |
最大承载力（N） | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 70 |
尺寸（mm） | 52x52x22.5 | 50x50x22.5 | 72x72x22.5 | 70x70x22.5 | 175x175x40 | 275x275x55 |
重量 ( g) | 135 | 135 | 280 | 270 | 2500 | 8000 |
最大速度（mm/s） | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 6 |
分辨率（nm） | 1.22 | 12.5 | 1.22 | 12.5 | 1.22 | 1.22 |
最小步长（nm） | 2 | 50 | 2 | 50 | 2 | 5 |
材料 | 铝合金/钛合金 | |||||
真空度 (mBar) | 超真空兼容（5X10-9 ） | |||||
电气接口 | D-sub9 | |||||
屏蔽线缆长度（m） | 2 | |||||
适配控制器 | 微纳运动控制器 SS01-C2A | |||||
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台
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