长行程压电升降台

      长行程压电升降台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，具有数厘米级行程和纳米级运动精度。

技术特点：

• 超长行程：10mm

• 高分辨率：传感器分辨率为1.22nm

• 超高精度：最小步长2nm

• 运动速度：可达2mm/s

• 高稳定性：保持力可达20N

• 超高真空兼容性；

• 运动模式：支持开环与闭环

• 轻量化、结构紧凑，高可靠性

• 模块化设计，摩擦单元可替换

应用领域：

• 扫描电镜（SEM）样品操纵

• 主动光学

• 超分辨成像样品移动

• 大范围电子束直写（EBL）

• 微纳装备及制造

• 集成电路制造与检测

• 高真空样品精度对准及调姿

• 纳米聚焦与扫描

• 显微及纳米CT

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台

资料下载

一维Z向长行程纳米促动器二维图+三维模型.zip