NH-X-200A 单轴长行程压电滑台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术,具有数十厘米级行程和纳米级运动精度。
技术特点：
超长行程：200mm
高分辨率：传感器分辨率为1.22nm
运动速度：可达6mm/s
高稳定性：保持力可达25N
超高真空兼容性；
运动模式：支持开环与闭环
轻量化、结构紧凑，高可靠性
模块化设计，摩擦单元可替换
应用领域：
扫描电镜（SEM）样品操纵
主动光学
超分辨成像样品移动
大范围电子束直写（EBL）
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
规格参数：
型号 | NH-X-200A |
运动轴数 | 1 |
传感器类型 | 光栅编码器（钢带栅尺） |
行程(mm) | 200 |
保持力(Force)（N） | 8 |
最大承载力(N) | 20（垂直方向） |
驱动类型 | 压电陶瓷 |
断电自锁力（N） | 13 |
分辨率（nm） | 1.22 |
最小步长（nm） | 2 |
平面度（μm） | 5 |
直线度（μm） | 4 |
线性度 | 0.0003% |
偏摆角yaw（μrad/mm） | 5 |
尺寸（mm） | 310x90x40 |
自重（g） | 1280 |
工作温度（℃） | 10-50 |
速度（mm/s） | 6 |
材料 | 铝合金/钛合金 |
真空度 (mBar) | 超真空兼容（7X10-7 ） |
推荐控制器/驱动器 | SS01-C2A |
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台
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