绝对式纳米光栅尺传感器基于阿米精控自主知识产权量测系统设计,可实现非接触测量,保证了极高的测量分辨率,满足各种应用场景下纳米级的测量需求。
技术特点:
绝对式编码器
纳米级测量分辨率
自主知识产权量测系统设计
高速高精度直线和旋转测量
多模式自动LED控制
防护等级IP53
高信噪比、抗干扰能力强
自动校正
支持定制化设计及配置
应用领域:
半导体与集成电路
电子信息
精密制造
科学仪器
医疗器械
航空航天
规格型号:
光栅尺传感器-读数头 | ALR | |
分辨率 | 12.5nm(直线系统) | 0.08arcsec(旋转系统) |
电子分析误差(nm) | <25 | |
最大速度 | 50m/s(直线系统) | 14000RPM2(旋转系统) |
尺寸(mm) | 36x13.1x10 | |
读数头重量(g) | 10 | |
线缆重量(g/m) | 18 | |
电源(mA) | 5V±10%80 | |
输出信号 | BISS C,ABZ(RS422)可选LVDS差分或SPI串行通讯 | |
出线长度(m) | 2(可选5/10) | |
防护等级 | IP53 | |
工作温度 | -40℃至125℃ | |
工作湿度 | 小于95%相对湿度(非冷凝) | |
栅尺类型 | ALE-G | ALE-S |
栅尺材质 | 玻璃 | 不锈钢 |
栅尺类型 | 204.8μm栅距绝对栅尺,直线型/旋转型 |
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