音圈电机驱动柔性纳米平台,基于具有大变形能力的柔性板簧机构单元,采用串联、并联和混联结构设计,实现毫米级行程、纳米级精度的单轴/多轴、平面/空间的跨尺度定位与扫描运动。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点:
紧凑型结构设计;
轴间运动学解耦设计;
跨尺度、高精度;
无摩擦、零间隙、免装配;
真空兼容性。
应用领域:
纳米压印技术
显微操作
视觉伺服
激光加工
光学对准测量
规格参数:
型号 | Tr-V-XY-2000 |
运动轴 | XY |
传感器类型 | 光栅/激光干涉仪 |
闭环行程 | 2mm |
闭环分辨率 | 10nm/20nm |
自重(kg) | 2.5 |
尺寸(mm) | 270X270X26 |
线性度(%) | 0.04 |
无负载谐振频率(Hz) | 20 |
材料 | 铝合金 |
最大负载(kg) | 1 |
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 音圈平台 音圈纳米台 纳米音圈平台 纳米定位台 音圈柔性铰链平台 音圈扫描台 音圈定位台 音圈纳米定位台
Copyright © 2022 阿米精控科技(山东)有限公司 All Rights Reserved. 地址:山东省日照高新区新一代信息技术产业园15号楼 鲁ICP备2022023997号 XML地图