NP-ST-HA 六轴重载荷压电平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
技术特点：
亚纳米级定位稳定性
纳米级闭环运动分辨力
无摩擦柔性铰链导向
大负载
空间多自由度
各级真空兼容性
应用领域：
大口径镜头测量
大型光机系统对准
大幅面干涉测量
镜组准直与稳定
显微成像/操纵
测量技术
集成电路检测
半导体加工
纳米压印
规格参数：
型号 | NP-ST-HAC-U |
运动轴 | X, Y, Z, θX, θY, θZ |
传感器类型 | 电容传感器 |
驱动类型 | 压电陶瓷 |
闭环行程 | XY:100μm Z:70μm θXθY:±180μrad θZ:±240μrad |
分辨率 | XY:＜2nm Z:＜1nm θXθY:＜20nrad θZ:＜20nrad |
线性度 | XY: 0.03% Z: 0.03% |
重复定位精度 | XY:＜10nm Z:＜10nm θXθY:50nrad θZ:50nrad |
最大负载 (kg) | 35 |
平台噪声 (nm) | ＜2 |
谐振频率@35Kg | Z:＞100Hz θXθY:＞100Hz |
材料 | 铝合金/钛合金 |
尺寸 (mm) | Φ475x130 中空Φ320 |
质量 | ＜20kg |
工作温度（℃） | 0-50 |
适配控制器 | 纳米伺服控制器APS-203010101 |
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台
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