高动态六自由度平台可实现多自由度运动，动态范围大，承载大稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
技术特点：
超高定位精度
多自由度运动
动态范围大
承载大稳定性强
任意指定转动中心
可满足各种工业需求
适应大气和真空环境
应用领域：
半导体封测 视觉装配
主动光学 显微操纵
生物技术 光纤校准
规格参数：
型号 | HEXAPOD H-TM-117 |
运动轴 | X, Y, Z, θX, θY,θZ |
传感器类型 | 光栅传感器 |
驱动类型 | 无刷直流电机 |
闭环行程 | X/Y/Z: ±16 / ±16/ ±6.5mm θX/θY/θZ: ±10°/ ±10°/ ±21° |
最小位移增量 | X/Y/Z: 0.1 / 0.1/ 0.1μm θX/θY/θZ: 0.5/ 0.5/ 0.5 arcsec |
单向重复定位精度 | X/Y/Z: ±0.25/ ±0.15/ ±0.1μm θX/θY/θZ: ±0.25/ ±0.6/ ±0.4 arcsec |
双向重复定位精度 | X/Y/Z: ±0.4 / ±0.25/ ±0.1μm θX/θY/θZ: ±0.25/ ±0.6/ ±0.4 arcsec |
最大速度 | X/Y/Z: 3 / 3/ 3 mm/s θX/θY/θZ: 1.43/ 1.43/ 1.43deg/s |
水平方向承载能力 (kg) | 5 |
任意方向承载能力 (kg) | 1.5 |
X/Y/Z轴刚度 (N/μm) | 0.7/0.7/8 |
材料 | 铝合金、不锈钢 |
尺寸 (mm) | Φ136×118 |
工作温度（℃） | 0~50 |
控制器 | APE-6CD |
纳米定位平
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