六自由度调台可实现多自由度运动，动态范围大，重载稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
技术特点：
超高定位精度
多自由度运动
动态范围大
重载稳定性强
任意指定转动中心
可满足各种工业需求
适应大气和真空环境
应用领域：
半导体封测 视觉装配
主动光学 显微操纵
生物技术 光纤校准
规格参数：
型号 | HEXAPOD H-TM-350 |
运动轴 | X, Y, Z, θX, θY,θZ |
传感器类型 | 光栅传感器 |
驱动类型 | 无刷直流电机 |
闭环行程 | X/Y/Z: ±18 / ±18/ ±15mm θX/θY/θZ: ±2°/ ±2°/ ±2° |
位移分辨率 | X/Y/Z: 0.5 / 0.5/ 0.5μm θX/θY/θZ: 3.5/ 3.5/ 3.5 μrad |
重复定位精度@200kg负载 | X/Y/Z: 3 / 3/ 3 μm θX/θY/θZ: 2/ 3.5/ 2 μrad |
谐振频率 | X/Y/Z: 20/ 25/ 50Hz |
负载 (kg) | 200 |
材料 | 铝合金、不锈钢 |
尺寸 (mm) | ⌀535×360 |
工作温度（℃） | 0~50 |
控制器 | ABE-6CD-350 |
纳米定位平
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