步进电机H-SM系列 六自由度并联运动平台可实现多自由度运动，动态范围大，承载大稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
技术特点：
超高定位精度
多自由度运动
动态范围大
承载大稳定性强
任意指定转动中心
可满足各种工业需求
适应大气和真空环境
应用领域：
半导体封测 视觉装配
主动光学 显微操纵
生物技术 光纤校准
规格参数：
型号 | HEXAPOD H-SM-264* |
运动轴 | X, Y, Z, θX, θY,θZ |
传感器类型 | 光栅传感器 |
驱动类型 | 步进电机 |
闭环行程 | X/Y/Z:6/6/10mm θX/θY/θZ:±4°/±4°/±3° |
分辨率 | X/Y/Z:＜1μm θX/θY/θZ:17μrad |
重复定位精度 | X/Y/Z:1μm θX/θY/θZ:10μrad |
最大负载 (kg) | 20(水平)；20(倒置) |
材料 | 铝合金 |
尺寸 (mm) | Φ415×260mm |
质量 (kg) | 18.3 |
工作温度（℃） | 0-50 |
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台
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