惯性电机H-IM系列 六自由度并联运动平台

       惯性电机H-IM系列 六自由度并联运动平台可实现多自由度运动，动态范围大，承载大稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。 

技术特点：

• 超高定位精度

• 多自由度运动

• 动态范围大

• 承载大稳定性强

• 任意指定转动中心

• 可满足各种工业需求

• 适应大气和真空环境

应用领域：

半导体封测                                视觉装配

• 主动光学                                    显微操纵

• 生物技术                                    光纤校准

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台