TR-CS Tripod为适应紧凑及模块化的多轴运动系统,采用精密粘滑式压电驱动,并联刚柔耦合机构，在保证工作空间内高刚度的基础上,提供超精密的连续偏摆与升降。
技术特点：
· 粘滑驱动
· 串并混联优化
· 空间精密调姿
· 紧凑化/轻量化/模块化设计
规格参数：
型号 | TR-CS-64 |
运动轴 | Z，θX，θY |
传感器类型 | 光栅编码器 |
驱动类型 | 压电陶瓷 |
Z向行程（mm） | ±2 |
θX，θY行程（°） | ±2，±2 |
| Z向重复定位精度（nm） | 500 |
θX，θY重复定位精度（µrad） | 10，10 |
Z向最大速度（mm/s） | 4 |
θX，θY最大速度（°/s） | 1.5 |
中心负载能力(N) | 3 |
外形尺寸（mm） | 150x125x64 |
工作温度（℃） | 10~50 |
电气接口 | D-sub9 |
材料 | 铝合金/钛合金 |
| 自重（g） | 1000 |
| 真空（mbar）（可选） | 超真空兼容（5X10-9 ） |
| 适配控制器 | 微纳运动控制器 SS01-C2A |
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