三自由度晶圆调节台

       音圈电机驱动三自由度晶圆调节台，属于三轴并联运动机构。通过三个线性移动轴的并联运动实现Z轴线性运动和θxθy轴旋转运动。可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、任意圆心旋转等复杂运动。

技术特点：

• 高精度:音圈电机具有较高的定位精度和重复定位精度,可以满足高精度应用的需求。

• 高响应速度:音圈电机的响应速度快,可以快速响应控制信号,实现快速运动。

• 高可靠性:音圈电机的结构简单,故障率低,具有较高的可靠性。

• 低噪音:音圈电机的运行噪音低,适合在需要低噪音的场合使用。

  
  

应用领域：

• 晶圆检测与量测

• 硅片对准与定位

• 显微操作

• 视觉伺服

• 大视场成像

• 半导体封装

• 芯片与器件测试

• 光学对准与操作

• MEMS制造与检测

• 激光加工

规格参数：