一维角度台

      一维角度台专用10° 范围内高分辨率 Θ 定位移动，基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现运动行程± 5°的俯仰调节。 该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。

       支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

• 超长运动行程：± 5°

• 高分辨率：闭环分辨率为2μ°

• 运动速度：可达3°/s

• 负载：2kg

• 超高真空兼容性；

• 运动模式：支持开环与闭环

• 轻量化、结构紧凑，高可靠性

• 模块化设计，摩擦单元可替换

应用领域：

• 扫描电镜（SEM）样品操纵

• 主动光学

• 超分辨成像样品移动

• 大范围电子束直写（EBL）

• 微纳装备及制造

• 集成电路制造与检测

• 高真空样品精度对准及调姿

• 纳米聚焦与扫描

• 显微及纳米CT

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台

资料下载

一维角度台 产品 产品规格书.pdf

一维角度台二维图+三维模型.zip