高精度纳米转台

发布时间:2025-06-06浏览次数:1800
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      高精度旋转平台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术,提供连续旋转的同时保证纳米级分辨率,拥有极高的可拓展性和可集成性。



技术特点:

  • 高精度、高稳定性、高运动速度

  • 可提供轴心补偿模块抑制轴心晃动

  • 支持开环/闭环运动模式

  • 超高真空兼容性

  • 轻量化设计且结构紧凑

  • 高可靠性及模块化设计,摩擦单元可替换


应用领域:

  • 样品检验

  • 精密微组装

  • 光路切换

  • 显微及纳米CT

  • 机器视觉

  • 半导体检测


机械参数:


型号

RP-50C

RP-100C

传感器类型

绝对式光栅编码器

驱动类型

压电陶瓷

转动行程

360°(θZ)

最小步长

0.5µrad0.4µrad

单向重复定位精度(@360°)

±1.5µrad±1.5µrad

双向重复定位精度(@360°)

±2.5µrad±2.5µrad

转动力矩

0.3Nm0.3Nm

最大负载

2kg4kg

尺寸

Φ60*16.1mmΦ100*17mm

自重

180g280g

材料

铝合金/钛合金

工作温度

10~50℃

真空(可选)

 超真空兼容(5X10-9 mbar)

电气接口

D-sub9

适配控制器

微纳运动控制器 SS01-C2A



资料下载




高精度纳米转台二维图+三维模型.zip


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