高精度旋转平台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术,提供连续旋转的同时保证纳米级分辨率,拥有极高的可拓展性和可集成性。
技术特点:
高精度、高稳定性、高运动速度
可提供轴心补偿模块抑制轴心晃动
支持开环/闭环运动模式
超高真空兼容性
轻量化设计且结构紧凑
高可靠性及模块化设计,摩擦单元可替换
应用领域:
样品检验
精密微组装
光路切换
显微及纳米CT
机器视觉
半导体检测
机械参数:
型号 | RP-50C | RP-100C |
传感器类型 | 绝对式光栅编码器 | |
驱动类型 | 压电陶瓷 | |
转动行程 | 360°(θZ) | |
最小步长 | 0.5µrad | 0.4µrad |
单向重复定位精度(@360°) | ±1.5µrad | ±1.5µrad |
双向重复定位精度(@360°) | ±2.5µrad | ±2.5µrad |
转动力矩 | 0.3Nm | 0.3Nm |
最大负载 | 2kg | 4kg |
尺寸 | Φ60*16.1mm | Φ100*17mm |
自重 | 180g | 280g |
材料 | 铝合金/钛合金 | |
工作温度 | 10~50℃ | |
真空(可选) | 超真空兼容(5X10-9 mbar) | |
电气接口 | D-sub9 | |
适配控制器 | 微纳运动控制器 SS01-C2A |
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