高精度气浮旋转平台采用闭式气浮结构设计,直驱电机驱动,圆光栅闭环反馈,实现高分辨率、高精度运动控制。
技术特点：
直接驱动无槽,无刷伺服马达
高速、高稳定性
极佳的误差运动与偏转特性
负载:2kg
运动模式:支持开环与闭环
轻量化、结构紧凑,高可靠性
模块化设计,摩擦单元可替换
超高真空兼容性
应用领域：
工业机器人 纳米表面测量
晶圆检测 光纤光学和光子学
航空电子设备 精密扫描
硅片检查 半导体设备
智能制造 超精密微细加工
规格参数：
型号 | RAF-85C* |
运动轴 | θX |
传感器类型 | 光栅传感器 |
行程（°） | 360 |
定位重复性（μrad） | ≤5（带载750g） |
定位精度（μrad） | ≤10（带载750g） |
30°闭环响应时间（ms） | ≤10（带载750g） |
最大负载 (kg) | 5 |
轴向跳动（nm） | 50 |
径向跳动（nm） | 50 |
平行度 (μm) | 40 |
旋转惯量 (kg*m²) | 11.2x10-4 |
抵抗过载冲击（带载750g） | >4g(四倍重力加速度)轴向与径向过载冲击 |
自重（g） | 1544 |
尺寸（mm） | 150x150x96 |
材料 | 铝合金/钛合金 |
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台
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