重载Z轴纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态位移扫描功能。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
超高定位精度
高动态
多运动模式：定位/扫描
兼容超高真空
无摩擦柔性铰链导向
应用领域：
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
光栅刻写
双光子聚合
光学移相
晶圆检测
表面检测
测量技术
半导体加工
规格参数：
型号 | NP-ST-Z-100 | NP-ST-Z-100-L |
运动轴数 | 1 | |
传感器类型 | 电容传感器 | |
驱动类型 | 压电陶瓷 | |
闭环行程 (um) | 100 | 100 |
分辨率 (nm) | 0.35 | 1.22 |
最小步长 (nm) | 0.5 | 2 |
谐振频率 (Hz) | 800（@无负载） | 66（@5kg负载） |
最大负载 (kg) | 5 | 5 |
材料 | 铝合金/钛合金 | |
尺寸 (mm) | 90x36.5x90 | |
自重（g） | 685 | 685 |
电气接口 | D-sub9 | |
真空度 | 真空兼容5X10-9 (mBar)可选 | |
工作温度（℃） | -20~80 | |
适配控制器 | 数字伺服控制器 NPC-031/纳米伺服控制器APS-203 | |
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台
资料下载
NP-ST-Z-100 Z向重载压电扫描平台 二维图纸（2025）.pdf
NP-ST-Z-100-L Z向重载压电扫描台 二维图纸（2025）.pdf
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