音圈电机纳米扫描台

      音圈电机纳米扫描台基于音圈电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动，内置光栅位移传感器，结构紧凑，通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果，具有纳米级运动分辨率和运动精度，同时兼具高速、高动态位移定位和扫描功能。

       支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

• 超高定位精度

• 高动态特性

• 多运动模式：定位/扫描

• 超长行程

应用领域：

• 光学系统中透镜的定位

• 医学装置中精密电子管、真空管控制

• 机械工具的多坐标定位平台

• 柔性机器人中使未端执行器快速精确定位

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台

资料下载

高精度纳米扫描台 产品规格书.pdf