高精度晶圆对位平台

       高精度晶圆对位平台采用音圈电机直接驱动的并联机械结构设计,具有速度快、刚度高、承载能力强等优点。内置超精密光栅位移传感器实现全闭环解耦控制,运动分辨率<50nm,重复定位精度<100nm,满足工业产线上高精度、高频率的对位、绑定、贴合、组装等应用需求。

       支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

• 高动态

• 高精度

• 跨尺度

• 大承载

• 灵活性

应用领域：

• 纳米压印技术

• 限位操作

• 视觉伺服

• 激光加工

• 光学对准测量

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台

资料下载

高精度晶圆对位平台规格书.pdf

高精度晶圆对位平台二维图纸+三维模型.zip