

![]()
S103.A1高精度压电物镜扫描台
![]()
S103.A1高精度压电物镜扫描台是一款面向高动态、高精度Z向运动需求的一维纳米扫描平台,
依托自研微纳柔性机构+压电执行器,实现超高分辨力纳米运动,并通过高性能纳米伺服系统
实现闭环控制,具备纳米级定位、高速轨迹跟踪与扫描、双传感器精准位移和对焦调节等优势。

产品及配套控制器图片

核心技术亮点

搭载自研电容传感器,传感器分辨率可达0.5 nm,具有极致细腻的微位移输出,满足超分辨率
显微严苛调焦需求。
内部外部高精度双传感器,可以精准位移和对焦调节,最小位移1 nm,重复定位精度10nm,
定位精准可靠。
柔性铰链结构,无机械摩擦、无间隙、免维护,闭环垂向行程100μm,线性度高达0.02%,
运动平稳无抖动,杜绝成像伪影,保障长时间运行稳定性。
200g负载条件下阶跃响应≤15ms,空载谐振频率650Hz,带载谐振230Hz,可实现快速自动
对焦、高速Z轴扫描成像。

典型应用场景

🔹超分辨显微与光学成像:超分辨显微Z向快速调焦、Z序列层扫、干涉光学计量、高速自动对焦;

结语

无论是前沿科研实验,还是高端工业检测,微纳定位的精度边界都在持续突破。阿米精控以场景
为导向,持续打磨可靠的微纳驱动核心技术,为微观成像与精密检测装备赋能。
Copyright © 2022 阿米精控科技(山东)有限公司 All Rights Reserved. 地址:山东省日照市东港区日照路智慧微电产业园C-2座 鲁ICP备2022023997号 XML地图