产品推荐|S103.A1高精度压电物镜扫描台

发布时间:2026-11-02浏览次数:17次

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探索微观世界,精准定位是成败的核心,但速度与精度往往难以兼顾。如何在保证纳米级定位精度的同时,实现高速响应与快速扫描,始终是行业的重要挑战。在超分辨显微、3D成像、半导体检测、生物科学等领域,高精度压电物镜扫描台,是解决精准定位、获取高质量微观图像的关键。

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S103.A1高精度压电物镜扫描台

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S103.A1高精度压电物镜扫描台是一款面向高动态、高精度Z向运动需求的一维纳米扫描平台,

依托自研微纳柔性机构+压电执行器,实现超高分辨力纳米运动,并通过高性能纳米伺服系统

实现闭环控制,具备纳米级定位、高速轨迹跟踪与扫描、双传感器精准位移和对焦调节等优势。

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产品及配套控制器图片

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核心技术亮点

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01

亚纳米级运动分辨率

搭载自研电容传感器,传感器分辨率可达0.5 nm,具有极致细腻的微位移输出,满足超分辨率

显微严苛调焦需求。

02

双传感器闭环控制

内部外部高精度双传感器,可以精准位移和对焦调节,最小位移1 nm,重复定位精度10nm,

定位精准可靠。

03

无摩擦柔性铰链导向

柔性铰链结构,无机械摩擦、无间隙、免维护,闭环垂向行程100μm,线性度高达0.02%,

运动平稳无抖动,杜绝成像伪影,保障长时间运行稳定性。

04

高速轨迹跟踪与扫描

200g负载条件下阶跃响应≤15ms,空载谐振频率650Hz,带载谐振230Hz,可实现快速自动

对焦、高速Z轴扫描成像。

05

兼容超高真空
支持定制适配超高真空工况的机型版本。

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典型应用场景

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🔹超分辨显微与光学成像:超分辨显微Z向快速调焦、Z序列层扫、干涉光学计量、高速自动对焦;

🔹半导体与精密检测:晶圆微观形貌检测、MiNi LED显微质检、微纳结构观测、精密光学测量工位。
🔹生物科学研究:活细胞动态成像、生物样本分层扫描、荧光显微观测、生物微操纵实验。

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结语

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无论是前沿科研实验,还是高端工业检测,微纳定位的精度边界都在持续突破。阿米精控以场景

为导向,持续打磨可靠的微纳驱动核心技术,为微观成像与精密检测装备赋能。

技术咨询、方案定制,欢迎后台留言。



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