高精度气浮旋转平台

       高精度气浮旋转平台采用闭式气浮结构设计,直驱电机驱动,圆光栅闭环反馈,实现高分辨率、高精度运动控制。

技术特点：

• 直接驱动无槽,无刷伺服马达

高速、高稳定性

极佳的误差运动与偏转特性

负载:5kg

运动模式:支持开环与闭环

轻量化、结构紧凑,高可靠性

模块化设计,摩擦单元可替换

超高真空兼容性

应用领域：

工业机器人                    纳米表面测量

晶圆检测                       光纤光学和光子学

航空电子设备                精密扫描

硅片检查                       半导体设备

智能制造                       超精密微细加工

规格参数：

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台