NP-ST-6CD 六轴纳米扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
技术特点：
超高定位精度
亚纳米级分辨率
超高真空兼容性
高速、高动态
无摩擦柔性铰链导向
多运动模式：定位/扫描
应用领域：
扫描显微镜 超分辨率显微镜
显微成像/操纵 掩膜/晶圆定位
生物技术 样本定位
干涉测量 计量
规格参数：
型号 | NP-ST-6CD |
运动轴 | X, Y, Z, θX, θY,θZ |
传感器类型 | 电容传感器 |
驱动类型 | 压电陶瓷 |
闭环行程 | X/Y/Z: 200 μm θX/θY/θZ: ±0.5mrad |
闭环分辨率 | X/Y/Z: 1 μm θX/θY/θZ: 0.1 μrad |
线性误差 | X/Y/Z: 0.01 % θX/θY/θZ: 0.1% |
重复定位精度 | X/Y/Z: ±2 nm θX/θY/θZ: 110/ 110/ 190 μrad |
平面度（nm） | 15 |
X/Y/Z向上的空载谐振频率（Hz） | 600/600/550 |
最大负载 (kg) | 5 |
尺寸（mm） | 150x150x30 |
真空（mbar）（可选） | 超真空兼容（5x10-9） |
材质 | 铝合金 |
工作温度（℃） | 0~50 |
适配控制器 | 数字伺服控制器 NPC043 |
纳米定位平
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