物镜压电纳米平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控···
X轴纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，内置电容位移传感器，通过高性···
重载Z轴纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实···
单轴长行程压电滑台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，具有数厘米级行程和纳米级运动···
长行程压电平台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，具有数厘米级行程和纳米级运···
双轴长行程压电滑台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，具有数厘米级行程和纳米···
高精度旋转平台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，提供连续旋转的同时保证纳米级分辨率···
高精度气浮旋转平台采用闭式气浮结构设计,直驱电机驱动,圆光栅闭环反馈,实现高分辨率、高精度运动控···
高精度电动光阑是一种用于光学系统中精确控制光束孔径或通光范围的自动化装置，通过电动驱动实现高精···
音圈电机驱动偏摆台BSM采用差分驱动与差分传感设计，通过负载平面的两轴（θx，θy）旋转运动实现高···
一维角度台专用10° 范围内高分辨率 Θ 定位移动，基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，···
二维高速压电偏摆镜采用差分驱动与差分传感设计，通过负载平面的两轴(θx,θy) 旋转运动实现高精密指向与调姿, 输出扭矩大,响应速···
电容式微位移传感器基于电容电极间均匀电场变化时电容值的变化量来实现纳米级位移的精确测量。该系列···
电容式微位移传感器基于电容电极间均匀电场变化时电容值的变化量来实现纳米级位移的精确测量。该系列···
•CDM-300控制器 CDM-300微位移传感器主机专为紧凑型应用设计,内置前置放大器、滤波器和信号调···
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